ASML、NIKON、CANON光刻機型號參數(shù)匯總

發(fā)布時間：2024-08-09作者來源：薩科微瀏覽：3894

之前，我發(fā)布了一個ASML光刻機的型號參數(shù)的匯總列表。看起來大家對這個數(shù)據非常感興趣，實際的閱讀量遠超我最初的預估

既然如此，那我就多發(fā)布一些數(shù)據吧。這次，我干脆把全球前道光刻機供應商御三家：ASML、NIKON、CANON的全部數(shù)據都一次性發(fā)布出來，供大家參考吧

老粉絲應該或許還記得我以前也發(fā)布過這個數(shù)據。不過這次，我又增加了不少新的數(shù)據：

ASML：增加了[敏感詞]NA值 .55得TWINSCAN EXE；增加了若干老機型的數(shù)據（部分數(shù)據參考了公眾號：TOM聊芯片智造，特此感謝）

NIKON：增加[敏感詞]的NSR S636E等兩三款型號

CANON：增加FPA Stepper機型若干

基本上，這個表格大體囊括了市面上主流的光刻機數(shù)據了，值得大家參考和收藏（限于我個人能力，很可能還有個別遺漏的，也麻煩大家給我留言提醒，謝謝了）

免責聲明：本文采摘自“半導體綜研”，本文僅代表作者個人觀點，不代表薩科微及行業(yè)觀點，只為轉載與分享，支持保護知識產權，轉載請注明原出處及作者，如有侵權請聯(lián)系我們刪除。

新聞推薦

服務熱線

0755-83044319

霍爾元件咨詢

肖特基二極管咨詢

TVS/ESD咨詢

獲取產品資料

微信客服號